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江蘇省牽頭開發(fā)的兩項重大科學儀器通過國家驗收
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作者:pmte1f4ee
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發(fā)布時間: 2019-06-17
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近日，由江蘇省牽頭開發(fā)的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應用”和“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應用開發(fā)”兩項國家重大科學儀器設備順利通過科技部組織的綜合驗收。其中，昆山禾信承擔的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應用開發(fā)”項目獲得專家的一致好評。
昆山禾信牽頭承擔的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應用開發(fā)”和蘇大維格牽頭承擔的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應用”是“十二五”期間江蘇省獲批的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項。
“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應用開發(fā)”由昆山禾信聯(lián)合省內(nèi)外16家單位共同完成，在國內(nèi)首次實現(xiàn)不同種類質(zhì)量分析器的聯(lián)用，完成了3款國際先進的質(zhì)譜整機研發(fā)及工程化，項目成果在全國超過40家單位推廣應用，為南北極科學考察等國家重大科學研究提供支撐服務，實現(xiàn)了國產(chǎn)高端質(zhì)譜儀器出口歐美發(fā)達國家的突破。
“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應用”項目由蘇大維格聯(lián)合上海理工大學、中國科學院上海光學精密機械研究所等6家單位共同完成。該項目解決了微納結(jié)構(gòu)光場的可調(diào)控技術、圖形的高速率寫入機制、微納結(jié)構(gòu)與納米精度多軸光機系統(tǒng)的設計與可靠性等難題；面向無掩模光刻，研制了紫外激光直寫光刻的關鍵技術、軟件和裝備；實現(xiàn)了從納米光子晶體結(jié)構(gòu)到微米級任意結(jié)構(gòu)的高效率光刻，與目前其他激光直寫技術相比，速度更快、效率更高。